電容式傳感器的三種基本結(jié)構(gòu)形式。它們可以以位移形式分為直線位移和角位移兩個,并根據(jù)傳感器板的形狀對平面和圓形或圓柱狀的圓柱形狀,雖然和球面和鋸齒形等形狀,但很少使用,所以表中沒有列出。差分傳感器一般比單組(單)傳感器。具有較高的靈敏度,線性范圍寬,穩(wěn)定性高。
由一個固定的扳手和一個可動板組成的可變距離電容式傳感器,可移動板由測得的平面金屬法組成。測量板間距變化的電容式傳感器。電容變化的初始電容的距離是。
板間距的變化是非線性的關(guān)系,解釋的原則,存在于電容傳感器的非線性誤差。也就是說,遠遠小于雙極板的范圍要求的初始距離),我們可以說,什么是線性關(guān)系。因此,這種類型的傳感器一般用于位移測量的微小變化。
但在板間距過小,電極表面的平面是敏感的影響,但也容易導(dǎo)致電容器故障,因此,板間距不能無限小。改善的方法是在板之間添加一塊云母或塑料薄膜。一般的電容起動電容是一個20pF 30pF,200uM約25um之間的板間距、最大位移量應(yīng)大于1 / 10的間距。
實際使用時,為了提高非線性、提高靈敏度和克服一些外部條件如功率比、環(huán)境溫度變化等,經(jīng)常使用現(xiàn)結(jié)構(gòu),在測量初始狀態(tài)尚未啟動時,可移動板的中間位置對電容器的兩側(cè)進行調(diào)整和定位。中間板要跟隨測量物體的移動,會造成2個部分的電容增加,減少或增加,所以控制電容值的兩個方面,以提高敏感廢物。當被要求為接近零的線性度也得到了改善。 |