一、光柵的分類
光柵是光柵傳感器中的主要元件,在長度和角度測量中應(yīng)用的光柵,常稱為計量光柵。
(一)以光線走向分類
1、透射光柵
在透明的玻璃上均勻地刻劃間距和寬度相等條紋而成的光柵稱為透射光柵。
2、反射光柵
在具有強反射能力的基體上,均勻地刻劃間距和寬度相等條紋而成的光柵稱為反射光柵。(二)以物理原理分類
1、黑白光柵
又稱為幅值光柵。有透射式和反射式。黑白透射光柵是在玻璃表面,刻劃成一系列平行等間距的透光縫隙和不透光的柵線,黑白反射光柵是在金屬的鏡面上刻成全反射和漫反射間距相等的條紋。
2、相位光柵
又稱為衍射光柵,斜面傾角光柵材料的折射率和入射光的波長來確定。相位透射光柵應(yīng)用較少,相位反射光柵適用于作精密測量之用。柵線密度較高,一般為每毫米100~2800條。
(三)以外形和用途分類
1、長光柵
主要用于測量長度。光柵條紋密度有每毫米25、50、100、250條幾種。并有透射式和反射式;也有黑白和相位的。
2、圓光柵
1)徑向光柵
徑向光柵的柵線延長線全部都通過圓心。
2)切向光柵
切向光柵的柵線延長線全部與一個同心小圓相切,同心小圓的直徑較小。圓光柵主要采用透射方式。
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