接近開關(guān)半導(dǎo)體式氣體傳感器是利用金屬氧化物或金屬半導(dǎo)體氧化物材料做成的元件，與氣體相互作用時(shí)產(chǎn)生表面吸附或反應(yīng)，引起以載流子運(yùn)動(dòng)為特征的電導(dǎo)率或伏安特性或表面電位變化等氣敏特性來實(shí)現(xiàn)氣體檢測(cè)。自一九六二年半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世至今，半導(dǎo)體式氣體傳感器是應(yīng)用最普遍、最具有實(shí)用價(jià)值的一類接近開關(guān)氣體傳感器。
根據(jù)氣敏機(jī)理的不同，氣體傳感器可分為電阻式和非電陰式兩種。電阻式接近開關(guān)半導(dǎo)體氣體傳感器利用半導(dǎo)體材料因吸附氣體而引起半導(dǎo)體元件電阻值發(fā)生變化的特性制成。利用半導(dǎo)體表面吸附氣體而引導(dǎo)起半導(dǎo)體電阻改變的稱為表面電阻控制型，如SNO2、ZNO、WO3等。利用接近開關(guān)半導(dǎo)體材料的體電阻因吸附氣體而引起半導(dǎo)體電阻值改變的稱為體電阻控制型。 |
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