諧振式壓力微光電開關(guān)傳感器利用壓力變化來改變揩振器的揩振頻率，從而通過測量頻率變化來間接測量壓力，其中諧振器一微諧振酒仙橋的激勵大多采用熱激歷或靜電激勵方式。
振動的激勵方式可采用靜電激勵或電熱激勵，拾振用壓阻，整個壓力敏感無件由單晶硅壓力膜和單晶硅梁揩振器組成。二者通過硅一硅鍵合成一個整體，梁緊貼膜片，其間只留空隙，供梁振動，硅梁封裝于真空或非真空之 中，硅膜另一邊接待測壓力源，膜四周與管座剛性連接，可近似為四邊固支矩形膜，當壓力作用于壓力膜時，膜兩側(cè)存在壓差，膜感受均布壓力將發(fā)生變形，膜內(nèi)產(chǎn)生應力，與膜緊貼的梁會感覺軸向應力以及外加壓力三者之間有很好的線性關(guān)系，因此，通過檢測梁的固有揩振頻率，可達到檢測壓力的目的。
這種諧振梁一敏感膜片分體結(jié)構(gòu)的壓力微傳感器的制作需要用到關(guān)鍵技術(shù)包括包括雙面光刻技術(shù)，腐蝕技術(shù)生長厚約10um的富硅氮化硅技術(shù)，多孔硅犧牲層技術(shù)以及硅一硅鍵合技術(shù)，其以低應力厚氮化硅雙端固支梁作為諧振器。 |
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