光波導(dǎo)光電開關(guān)傳聲器的基本原理是傳播在光波導(dǎo)方向光波的振幅和相位隨波導(dǎo)管的尺寸或波導(dǎo)管鄰近區(qū)域條件的變化而變化。根據(jù)這種效應(yīng)，利用一個傳聲器將聲信號入射，以實現(xiàn)對光波進行強度或相位的調(diào)制。這類傳聲器已經(jīng)分別用傳統(tǒng)的光波導(dǎo)和微機械加工的光波導(dǎo)研制出來，這種光波導(dǎo)硅基微傳聲器系統(tǒng)由振膜片和波導(dǎo)片組成。光纖將光波導(dǎo)耦合進波導(dǎo)片。一個硅基把延伸在兩片金屬層間高5um、長950um的槽型平板波導(dǎo)管連接起來。通過波導(dǎo)管傳遞的光，由硅基收集并耦合進受光纖維。振膜傳來的聲波用來調(diào)制槽狀波導(dǎo)的高度，從而引起光波振幅和相位的變化。這種相位調(diào)制可由馬赫一澤德干涉儀進行檢測。
和傳統(tǒng)的分立式聚合物傳聲器相比，硅基駐極體傳聲器具有體積小、微機械加工技術(shù)及IC平面工藝兼容、適合于集成化器件生產(chǎn)、成本低等優(yōu)點。 |
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